1400℃真空氣氛管式電爐
1400℃真空氣氛管式電爐氣體流量控制系統。通過浮子或質量流量控制器調節進氣量，以滿足用戶在不同反應氣氛或保護氣氛條件下的實驗要求。
1、1400℃真空氣氛管式電爐爐膛材料采用優質的多晶莫來纖維真空吸附制成，節能50%，溫場均勻。電熱元件采用表面溫度1500度的優質硅碳棒。
國產程序
SK-G04143
SK-G05145
SK-G06143
SK-G08143
進口程序
SK-G04145
SK-G05145
SK-G06145
SK-G08145
溫區
單溫區
最高溫度
1400℃
加熱區長度
200mm
400mm
恒溫區長度
70mm
140mm
加熱元件
硅碳棒
空爐升溫時間
<30min
額定功率
2.5Kw
5Kw
額定電壓
220V
溫度控制
國產程序控溫系統可編輯50段程序控制；進口程序控溫系統可編輯40段程序控制；
控溫精度
±1℃
石英管尺寸（mm）
Φ40/34x1000
Φ50/44x1000
Φ60/50x1000
Φ80/70x1000
爐管材料
剛玉管
爐管最高工作溫度
＜1300℃
配置爐管時升溫速度
500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min;
1000-1200℃≤3℃/min;1200-1400℃≤2℃/min
外形尺寸（深x寬x高）
315x440x539mm
400x614x653mm
重量
60Kg
85Kg
標準配置
氣路總成一套（含真空壓力表），剛玉管一支，剛玉堵塞兩個，鉤子一把，高溫手套一副
真空/氣氛總成配套（可選）
真空控制系統: 中真空控制系統、高真空控制系統、真空測量系統；
氣路控制系統：氣體浮子流量控制系統、氣體質量流量控制系統；
計算機集散控制系統； CVD電爐系統；
2、1400℃真空氣氛管式電爐密封法蘭采用雙環密封技術，有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進出氣微量可調功能。
3、1400℃真空氣氛管式電爐兩端氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應力，杜絕了因自身應力而造成的爐管損壞。
4、1400℃真空氣氛管式電爐先進的空氣隔熱技術，結合熱感應技術，當爐體表面溫升到達50℃時，排溫風扇將自動啟動，使爐體表面快速降溫。
